新施诺VCS:支撑OHT稳定运行的核心控制系统

 

在AMHS系统中,OHT运行控制不仅取决于硬件本体,更取决于控制系统对运行过程的管理能力。作为新施诺AMHS中的重要组成部分,VCS(Vehicle Control System)承担着天车运行控制、状态协同与异常处理等关键任务,直接影响系统在多车并发、复杂轨道及长周期运行场景下的稳定性表现。围绕先进晶圆厂对高节拍搬运、稳定运行及自动化需求,新施诺持续优化VCS关键技术,不断提升OHT系统在实际工况下的运动控制能力。

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OHT 控制系统高性能硬件架构

OHT控制系统采用主辅多核分离式并行高性能硬件架构,从底层硬件层面完成通用业务与实时控制的职责解耦、分工优化。

架构内主核依托高性能计算核心,承担系统管理、通信交互与上层业务逻辑处理,保障系统整体稳定运行与功能扩展能力;辅核通过独立实时控制核心与专用加速单元,专职运行运动控制引擎、EtherCAT 主站,实现对现场IO及从站设备低延迟、高精度的实时控制与总线同步。

主核与辅核之间通过共享内存 + 硬件邮箱的高速互联机制实现跨核协同,兼顾大数据量缓存交互与中断式快速消息通知,在多设备联动、复杂工况运行场景下,始终维持系统优异的实时响应性能与运动控制精度,最终提升 OHT 设备全流程运行的平稳性与运行可靠性。

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实时操作系统保障运行确定性

基于实时操作系统的调度机制,关键控制线程可以按照固定周期稳定执行,避免在高负载情况下出现调度延迟或执行抖动。通过优先级划分,核心控制逻辑不受非关键任务影响,使系统在多车并发运行时仍具备良好的实时性与可预测性,从而保障整体运行的稳定性。

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过弯逻辑优化,降低振动与冲击

针对OHT在弯道区域易产生振动的问题,对运动控制策略进行了优化,引入平滑的速度过渡及加减速控制曲线。同时结合轨道特性,对不同弯道设置差异化参数,使车辆在进入与退出弯道时保持连续、平稳的动态响应,从而有效降低振动与机械冲击,提升搬运过程的可靠性。

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完善异常处理机制,提升系统自动化能力

针对运行过程中可能出现的各类异常场景,建立了系统化的检测、隔离与恢复机制。通过自动重试、状态回滚及分级处理策略,使系统在大多数异常情况下能够实现自恢复,减少人工干预需求。该机制有效降低了异常对系统运行的影响范围与持续时间,在长期运行中提升系统稳定性,并提高MCBF(Mean Cycles Between Failures)。

综上所述,VCS覆盖了跨核协同、实时调度、运动控制、异常处理等关键环节。围绕这些核心技术的深度优化,新施诺进一步提升了系统在复杂工况下的运动控制可靠性。

关于新施诺

 

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苏州新施诺半导体设备股份有限公司成立于2022年10月,由沈阳新松机器人自动化股份有限公司(股票代码:SZ.300024)、中芯聚源、诺华资本等产业投资人联合牵头成立,注册资本13.18亿元人民币。公司核心产品为AMHS自动物料搬送系统(简称天车系统),业务领域覆盖半导体、面板、新能源电池等高端制造领域。

集团旗下韩国全资子公司SYNUS Tech拥有40余年的技术积累与行业经验,为全球客户提供优质的产品与服务。集团在北京、合肥、无锡均布局业务子公司,专注于半导体国产天车系统的推广应用。作为江苏省“专精特新”企业,公司构建了以国产硬件设备与自主研发的物料搬送控制系统交付体系,围绕效率、精度与稳定性等Fab厂严苛指标持续优化,在国内多个晶圆厂完成国产天车系统整线的交付与验收,凭借技术稳定、客户信赖、经验丰富赢得了强大的市场竞争力和良好的客户口碑,助力中国半导体设备产业国产替代!

 

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