【SEMI发布】新施诺携全栈自研OHT亮相SEMICON China:邀您现场验证国产天车硬实力

在现代12英寸(300mm)晶圆厂中,单片晶圆的生产周期长达数月,要在数百台高精密工艺设备之间完成上千次搬送,累计流转距离超过20公里。这套总长数十公里的立体交通网络,就是AMHS自动物料搬运系统。

AMHS系统被誉为晶圆厂的大动脉, 其稳定高效运行直接关系到整个产线的产能与良率。但长期以来,市场被两家日本公司垄断,国产份额不到10%。因此,实现AMHS的国产化替代,不仅是技术突破,更是保障半导体产业链安全的关键。

苏州新施诺半导体设备股份有限公司是AMHS整体解决方案提供商,是国产AMHS领域的领军企业代表,建立了从系统规划设计、产品制造、安装到售后服务的完整体系,业务领域涵盖半导体、面板、新能源电池等高端制造领域。

新施诺产品品类齐全,包括OHT(天车)Stocker/NStocker(存储库),Conveyor(传输线)HT(跨层高速塔),还有系统配套设备OHB/NOHB(空中缓存)、Manual Station(人工收放站)MTL/F-MTL(天车维修设备)、AGV(自动导航车)等。

同时,该公司自主研发的物料搬送控制系统以及DTS3D数字孪生系统)软件,结合AI调度算法,技术成熟,可以实现大厂大规模应用。

目前,新施诺已经累计交付了超过200OHT系统,铺设的轨道总长超过9000米。该系统平均无故障搬运次数(MCBF)达到了12万次以上,保证了99.999%(五个九)的稳定性,是保障芯片制造连续性与晶圆安全的基础底座” 

 

 

 

 

 

 

 

突破创新:核心技术自主可控

 

 

 

全球半导体产业正加速向中国大陆转移,2024年全球新建晶圆厂中42%位于中国,这为国产AMHS提供了巨大的市场空间。

为了实现高质量的国产替代,新施诺始终坚持开放合作的理念,采用坚持长期主义,以客户为中心的战略,实现核心底层技术“自主可控”。

新施诺全资收购了韩国巨头企业Synus Tech(成立于1977年,该公司为全球排名前四的AMHS供应商),继承了其在半导体、面板领域四十余年的丰富机械工程底蕴与核心Know-how。在此基础上,新施诺利用国内高端研发工程师、机械工程师以及AI算法优势,对软硬件进行了基于Linux+自研控制器的全面重构。

在硬件层面,新施诺攻克物理振动控制,通过车体轻量化设计及自主可控的电机与驱动器进行运动控制,将多轴振动峰值控制在0.3G内,重复定位精度达±1毫米;在核心的存储库(Stocker)及相关暂存环节(OHB),配备了高效的氮气充流(N2 Purge)系统,避免了良率的衰减,为下一代晶圆打造了真正安全可靠的防护盾。

在软件层面,针对晶圆厂内上千台天车、日均 70 万条指令的高负荷场景,新施诺利用AI技术,实现整体物流效率提升10%-20%,并通过预测性维护排查异常,减少非计划停机,从根本上筑牢良率提升的基础。

2025年,新施诺基于前五代产品的工程积累与客户现场反馈,加速第六代国产化天车的研发与测试工作。作为新施诺2026年后的主打旗舰机型,第六代标志着核心技术自主可控的新阶段,旨在全面对标并超越国际一线竞品。

 

 

 

 

 

 

 

聚焦、合作、长期主义

 

 

 

AMHS国产化不仅是单一企业的技术突破,更是整个供应链的协同升级。

新施诺以聚焦关键痛点,打造比较优势为核心战略,走出了一条务实而高效的国产化AMHS破局之路。在技术创新方面,新施诺已实现OHT轻量化设计迭代,并在控制器架构、技术路线及操作系统选择上形成了技术优势,致力于打造更加稳定、高效、可控的国产天车系统。

新施诺始终坚持开放、合作、生态共建的理念,通过供应链联盟,横向联合纵向协作并举,深化与集成商的协同合作,推进战略合作与产业安全布局。

横向上,联合国内供应商,攻克电机、高性能驱动器等核心零部件,推进供应链安全布局;

纵向上,与晶圆厂客户深度协作,联合验证,让国产方案快速替代。

通过资源共享与风险共担,新施诺加速了核心技术与零部件的国产化进程,提升产业安全。

历经三年攻坚战,新施诺硕果累累。2025年,新施诺围绕国产化天车与AMHS解决方案持续拓展市场,在FAB、大硅片、IGBT/SICMicro OLED、玻璃基板封装等多个方向形成客户覆盖与项目推进,包括N公司、H公司、S公司、J公司,Z公司、H公司、X公司、B公司等客户与场景。

AMHS国产化是一场需要耐心与毅力的持久战。新施诺将坚持长期主义,继续加大研发投入,深化产业协同,始终以客户为中心,用创新技术赋能智能制造。新施诺希望与同仁携手并进,共同构建安全、可控、创新的国产半导体供应链体系,为中国半导体产业的自主发展贡献坚实力量。

 

 

 

 

关于新施诺

 

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苏州新施诺半导体设备股份有限公司成立于2022年10月,由沈阳新松机器人自动化股份有限公司(股票代码:SZ.300024)、中芯聚源、诺华资本等产业投资人联合牵头成立,注册资本13.18亿元人民币。公司核心产品为AMHS自动物料搬送系统(简称天车系统),业务领域覆盖半导体、面板、新能源电池等高端制造领域。

集团旗下韩国全资子公司SYNUS Tech拥有40余年的技术积累与行业经验,为全球客户提供优质的产品与服务。集团在北京、合肥、无锡均布局业务子公司,专注于半导体国产天车系统的推广应用。作为江苏省“专精特新”企业,公司构建了以国产硬件设备与自主研发的物料搬送控制系统交付体系,围绕效率、精度与稳定性等Fab厂严苛指标持续优化,在国内多个晶圆厂完成国产天车系统整线的交付与验收,凭借技术稳定、客户信赖、经验丰富赢得了强大的市场竞争力和良好的客户口碑,助力中国半导体设备产业国产替代!

 

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