【芯势力】新施诺张晨:从跟随学习到引领替代——半导体天车设备的国产化路径

2026年3月27日,“芯聚金桥·骏驰万里”——2026复旦大学集成电路产业高质量发展大会在上海浦东举行。本次论坛由复旦大学校友总会集成电路行业分会主办,来自集成电路产业链上下游的专家学者、企业代表及校友嘉宾围绕产业发展趋势、关键技术突破与协同创新等话题展开交流。

作为装备企业校友代表,苏州新施诺半导体设备股份有限公司常务副总经理张晨受邀出席论坛,并以《从跟随学习到引领替代——半导体天车设备的国产化之路》为题作主题分享。结合企业实践与行业观察, 张晨围绕半导体AMHS(自动物料搬运系统)国产化面临的挑战、技术演进和发展路径,分享了高端搬送装备领域推进自主可控的思考与实践。

AMHS:晶圆厂的“大动脉”
 
张晨在分享中指出,在现代12英寸晶圆厂中,单片晶圆从投片到完工通常需要经历数月周期,并在数百台高精密工艺设备之间完成数十万次自动搬送。支撑这一复杂制造流程高效运转的,正是AMHS系统。作为晶圆厂智能物流体系的核心基础设施,AMHS系统的稳定性、洁净度、调度效率和系统可靠性,直接关系到产线产能释放与良率保障,被业内称为晶圆厂的“大动脉”。
 

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半导体天车的行业格局
 
围绕行业格局,张晨表示,长期以来,国内高端半导体天车市场,尤其是12寸Fab搬送场景,仍主要由国外厂商占据。当前,在12寸Fab天车领域,市场集中度较高;在大硅片、碳化硅、功率器件、封测、先进封装、Micro OLED等细分领域,国产厂商虽已逐步切入,但整体仍处于持续突破和验证阶段。半导体天车设备国产化,不只是单一设备的替代,也关系到产业链供应链安全、关键核心装备自主可控和高端制造体系能力建设。
 

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新施诺的发展路径
 

在介绍企业发展与实践时,张晨提到,苏州新施诺成立于2022年10月,聚焦半导体、面板、新能源及高端制造领域AMHS整体解决方案,已逐步形成覆盖系统规划设计、产品制造、安装调试到售后服务的完整能力体系。企业在发展过程中,坚持“引进、学习、吸收、再创造”的技术演进思路,围绕国产化落地推进技术承接、本土化重构与场景验证,逐步形成从“跟随、学习”迈向“替代、引领”的发展路径。

半导体天车国产化的难点
 
在张晨看来,半导体天车设备国产化之所以难,不仅在于技术复杂,也在于这一赛道需要长期积累。
首先,市场机会具有非连续性。天车系统不同于可局部替换、逐步渗透的标准设备,尤其在12寸Fab场景中,往往涉及整套轨道系统、控制系统和调度系统的协同交付,系统兼容性要求高,这意味着国产厂商不仅要完成设备研发,还要具备整套系统的集成交付能力。
其次,晶圆厂对设备量产稳定性、运行连续性和洁净控制要求很高,而设备企业要实现国产替代,又必须依赖真实场景、真实产线和真实项目进行长期验证,量产需求与替代验证之间存在现实压力。
与此同时,材料选型、制造工艺、微粒控制、设备振动和轨道洁净等细节,都会直接影响客户良率和生产连续性,客户信心的建立也成为国产替代过程中的关键问题。
 

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半导体天车国产化的突破方向
 
对于如何实现突破,张晨在分享中提出,半导体天车设备国产化必须尊重产业规律,坚持长期主义,以“化整为零、循序渐进、先走再跑、不冒进”为基本原则,围绕可突破的细分场景逐步积累技术、经验和案例,再由外围市场向核心场景稳步推进。
张晨表示,国际龙头企业的成长并非一蹴而就,而是伴随着日本、中国台湾、韩国等地区半导体产业的发展,在长期应用、持续迭代和规模化验证中逐步建立起竞争优势。对国产厂商而言,同样需要时间沉淀、场景打磨和生态共建。
 
 
新施诺的能力建设布局
基于这一判断,新施诺在实践中持续推进能力建设。一方面,公司围绕硬件设备、嵌入式控制、调度算法与系统软件夯实基础,推动OHT(天车系统)、Stocker(存储库)、Conveyor(传输线)、HT(高速塔)、OHB(空中缓存)、 MCS(物料搬送控制系统 )等核心装备与软件平台协同发展,逐步形成覆盖设备、控制与调度的系统能力;另一方面,公司围绕不同应用需求持续拓展产品布局,形成Reticle Pod VHL(光罩天车)、PLP OHT(板级封装天车)、PLP Stocker(板级封装存储库) 、Clean VHL(清洁设备)、 Lift Cleaning Machine( 洗车机 )、 LOT( 数字孪生系统 )等产品与解决方案,提升对复杂场景的支撑能力。
 
 
技术能力指标升级

在技术能力方面,张晨重点介绍了企业在速度、振动控制、定位精度、MCBF和大规模调度能力等指标提升。她表示,半导体搬送系统既要满足高洁净环境下的运行要求,也要兼顾高密度搬送场景中的效率与可靠性。随着大型Fab对系统实时调度和柔性协同能力要求不断提高,软件系统的重要性也更加突出。新施诺在嵌入式系统、调度控制及智能优化等方面持续投入,推动 硬件与软件整体解决方案 ,以适配未来复杂产线对高并发、高可靠搬送系统的需求。

国产替代需要全产业链协同
 
张晨还表示,国产替代不是一家企业单独完成的任务,而是客户、供应商、产业链伙伴及创新生态共同推进的结果。从局部验证到规模量产,从单点突破到体系化突破,离不开真实应用场景的开放、产业协同机制的建立以及上下游长期信任关系的形成。对于高端装备企业而言,既要保持对核心技术的持续投入,也要以工程化能力和交付能力赢得客户信任;对于产业生态而言,则需要通过资源协同、场景共建和持续验证,共同推动关键设备国产化不断向前推进。

大会现场,张晨结合新施诺的探索实践,分享了半导体天车设备国产化过程中的观察与思考。她表示,半导体天车设备国产化不是短期工作,而是需要时间积累、持续投入和多方协作的系统工程。围绕半导体制造、装备创新与产业协同等议题,与会嘉宾也展开了深入交流。 张晨的分享立足装备企业实践,回应了当前半导体设备国产化进程中的现实问题,也展现国产高端搬送装备在长期积累与持续验证中的探索方向。