SEMI OHT (半导体-天车)

Overhead Hoist Transport

​​​​​​OHT即空中走行式搬送车，用于各工艺设备间FOUP的搬送，是半导体工厂实现fully auto的主要设备

▪ 提升生产效率

▪ 降低人力成本

▪ 节省厂房空间

▪ 搬运载具                     FOUP, FOSB, SMIF POD, Cassette

▪ 标准负载                     15kg（可定制至50kg）

▪ 直线速度                     Max.5.3m/s

▪ 曲线速度                     Max.1.0m/s

▪ 加速/减速                    2m/s² / 3m/s²                                 

▪ 停止精度                     ±1mm

▪ 转弯半径                     500mm（客制化450mm）

▪ 取放时间                     <8s@h2.7m

▪ 洁净等级                     Class 10 @ 0.3㎛

▪ 振动                             ≤0.35Kg

▪ 车体重量                     116Kg

▪ 车体尺寸                     870×460×895mm

▪ 供电方式                     非接触式供电

▪ 平均无故障时间          >2000小时

▪ 系统可用率                  99.999%

▪ 平均维修时间              ≤ 6min

SEMI Stocker（半导体-存储库）

Stocker 用于存储晶圆盒

▪ 自动存取

▪ 自动物料管理

▪ 提高空间利用率

▪ 搬运载具                      FOUP, FOSB, SMIF POD, Megazine,Reticle POD,

                                       Tray, Cassette

▪ 负载                             Max.15Kg

▪ 走行速度                      Max.2.2m/s

▪ 升降速度                      Max.2.1m/s

▪ 回转速度                      Max.120°/s

▪ 叉取时间                      3.5s

▪ 取放精度                      ±0.5mm

▪ 洁净等级                      Class 10 @ 0.3㎛   

▪ 振动                             ≤0.5G

▪ 供电方式                      拖链 或 非接触式供电

▪ 尺寸                             可根据客户需求定制         

SEMI HT（半导体-跨层高速塔）

High-speed Tower

高速塔，用于跨楼层传输和存储

▪ 可对接OHT/AMR

▪ 搬送工具                                       FOUP, FOSB,SMIF POD,Magazine,Tray,Cassette

▪ 搬运方式                                       跨楼层高速搬送、可双传动（2 FOUP）

▪ 升降速度                                       Max.4.16m/s

▪ 升降加速度 / 减速度                      2 m/s² / 2 m/s²

▪ OHT Port（Conveyor）速度        1.0 m/s                              

▪ OHT Port 加速度 / 减速度             0.4 m/s² / 0.3 m/s²

▪ 振动值                                           ≤ 0.5 G

▪ 重复定位精度                                ≤ ±1 mm

▪ 洁净等级                                       Class 100 @ 0.5 μm

▪ 供电方式                                       非接触式供电（CPS）

▪ 结构特点                                       紧凑型铝型材框架、轻量化设计

▪ 防火配套                                       配套自研防火门，满足国标 3 小时耐火 + 隔热

OHB（空中缓存）

Overhead Buffer

▪ 支持OHT自动存取

▪ 减少地面空间占用

▪ 设备用途                         空中缓存

▪ 存储载具                         FOUP,FOSB,SMIF POD,Magazine,Tray

▪ 存储数量                         4储位（可定制）

▪ 载荷                                Max.15Kg

▪ 洁净等级                         Class 10 @ 0.3㎛

▪ 特点                                可适配第三方OHT系统

▪ 提高生产效率

▪ 安装灵活，扩展便捷

▪ 设备用途                         空中缓存、监控温度、净化保护

▪ 存储载具                         FOUP,SMIF POD

▪ 存储数量                         4储位（可定制）

▪ 控制模式                         流量控制

▪ 载荷                                Max.15Kg

▪ 洁净等级                         Class 10 @ 0.3㎛

▪ 特点                                Recipe可定制

Manual Station（FOUP/Pod-人工取放站）

天车系统人工取放口

▪ 位置灵活配置

▪ 用于人工取放天车运送的物料

▪ 搬运载具                          FOUP, FOSB,SMIF POD,Magazine,Tray,Cassette/Open Cassette

▪ 设备用途                          天车系统人工取放口

▪ 速度                                 Max.0.9m/s

▪ 洁净等级                          Class 100 @ 0.3㎛

▪ 特色                                 可选带缓存类型、穿墙类型

▪ 信息识别                          可选条码/RFID/Smart Tag

SEMI Conveyor（半导体-传输线）

通过多种单元（旋转、直线传输、对接等）组合实现多功能传输

▪ 准确定位物料设备

▪ 确保物料输送安全

▪ 搬运载具                             FOUP,FOSB,SMIF POD

▪ 负载                                    15Kg

▪ 直线速度                             Max.1m/s

▪ 旋转速度                             100º/s

▪ 振动                                    ≤0.5G

▪ 定位精度                             ≤±1mm

▪ 驱动马达                             步进电机

▪ 传动机构                             皮带

▪ 爬坡                                    可支持

▪ 洁净等级                             Class 100 @ 0.3㎛

▪ ID识别                                 In put & Out put

Reticle Pod VHL (光罩天车)

Reticle Pod Overhead Hoist Transport

PLP OHT (板级封装天车)

Panel Level Package Overhead Hoist Transport

▪ 搬运载具                     Panel FOUP

▪ 负载                            Max.50Kg

▪ 直线速度                     Max.3.0m/s

▪ 曲线速度                     Max.0.75m/s

▪ 加速/减速                    1.0 m/s² / 1.0 m/s² 

▪ 停止精度                     ±1mm

▪ 转弯半径                     500mm

▪ 转向速度                     0.5s

▪ 振动                            ≤0.5G

▪ 洁净等级                     Class 10 @ 0.3㎛

▪ 车体尺寸                     1006×682×1125mm

▪ 车体重量                     186Kg（不含载荷）

▪ 供电方式                     非接触式供电

▪ 平均无故障时间           >2000小时

▪ 系统可用率                  99.999%

▪ 平均维修时间              ≤ 6min

▪ 封测工艺核心装备

▪ 适配多样化布局

▪ 节省厂房空间

SEMI N2 Stocker（半导体-氮气存储库）

▪ 搬运载具                      FOUP,  SMIF POD, Reticle POD

▪ 负载                             Max.15Kg

▪ 走行速度                      Max.2.2m/s

▪ 升降速度                      Max.2.1m/s

▪ 回转速度                      Max.120°/s

▪ 叉取时间                      3.5s

▪ 取放精度                      ±0.5mm

▪ 尺寸                             可根据客户需求定制

▪ 洁净等级                      Class 10 @ 0.3㎛              

▪ 振动                             ≤0.5G

▪ 供电方式                      拖链 或 非接触式供电

▪ 尺寸                             可根据客户需求定制

PLP STK（板级封装-存储库）

Panel Level Package Stocker

▪ 搬运载具                      FOUP、 托盘

▪ 负载                             75Kg

▪ 走行速度                      Max.1.7m/s

▪ 加速度                         0.4 m/s²

▪ 升降速度                      Max.0.4m/s

▪ 升降加速度                  0.24 m/s²

▪ 叉取速度                      Max.120 mm/s（叉取时间：9s）

▪ 叉取加速度                  0.18 m/s²

▪ 转向速度                      Max.80°/s

▪ 洁净度                         Class 100 @ 0.3㎛              

▪ 供电方式                     非接触供电 或 拖链

MTL（天车维修设备）

Maintenance Lift

▪ 天车投入、取出的升降设备

▪ 设备用途                         OHT维护与维修

▪ 高度                                根据客户层高定制

▪ 上/下速度                        0.33m/s

▪ 升降供电                         拖链

▪ 供电方式                         非接触式供电

▪ 洁净等级                         Class 100 @ 0.3㎛

▪ 安装灵活，扩展便捷

▪ 设备用途                         OHT维护与维修

▪ 高度                                根据客户层高定制

▪ 上/下速度                        0.2m/s

▪ 升降供电                         皮带

▪ 供电方式                         非接触式供电

▪ 洁净等级                         Class 100 @ 0.3㎛

MCS（物料搬送控制系统）

Material Control System

▪ 通过多种单元（旋转、直线传输、对接等）组合实现多功能传输

▪ 深度系统集成与灵活接口

▪ 多AMHS供应商支持

▪ 多协议外部接口

▪ 高可用性与故障容错

▪ 全自动Failover切换

▪ 可在线配置AMHS设备

▪ 在线升级与无缝维护

▪ 数据库容错机制

▪ 系统驱动的AMHS实时优化

▪ 构建物理世界的实时、动态数字镜像，实现预测、优化与决策革命

▪ 可视化运营管理，提升调度效率

▪ 与MES等系统数据联通

▪ 三维动态可视化

▪ 3D动态搬运监控

▪ 异常智能预警

▪ 设备异常醒目标识

▪ 异常数据驾驶舱

▪ 数掴驱动决策

▪ OHT轨迹查看

▪ OHT智能追踪

Clean OHT (轨道清洗小车)

Clean Overhead Hoist Transport

▪ 型号                            SEML OHT Clean VHL

▪ 工作速度                     Max.0.83m/s

▪ 直线速度                     Max.2m/s

▪ 曲线速度                     Max.0.5m/s

▪ 加速/减速                    1m/s² / 1m/s² 

▪ 分合流模式                  VHL自主切换

▪ 转弯半径                     500mm

▪ 转向速度                     0.5s

▪ 空气流量                     Max.2m³/min

▪ 噪音                            ＜80dB

▪ 供电方式                     非接触式供电

▪ 预防性维护设备

▪ 适配光刻机作业

▪ 节省厂房空间